チップ単体でのパワーデバイスを測定する動特性検査装置です。
ウェーハ状態での検査装置も多くの実績があります。
チップ単体用動特性検査装置
チップ単体用 動特性測定器
高精度な位置決めとプロービング技術によりチップ単体での動特性（AC特性）試験が可能に
新開発のコンタクト方式による低Ls測定を実現
◇主な仕様
| 対象素子 | N-Ch IGBT/P-MOS FET Diode |
| SW TIME | VCC:1000V IC:1000A VG:±20V |
| VCE(SUS) | VCC:1000V IC:2000A VG:±20V VCE(SUS): 2500V |
| インダクタンス | L:3μH～1mH |
| 波形取得 | D.S.O. |
| その他 | パレット供給・分類収納機能 |
※本仕様は一例です。詳細はお問い合わせください。