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パワー・モジュール用静特性検査装置各種半導体(IGBT、IPM、P-MOS FET、SiC、GaN、Diode 等)のパワー・モジュールを対象とした静特性測定装置(DC特性測定装置)です。 |
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ウェーハチップ単体用静特性検査装置各種半導体(IGBT、IPM、P-MOS FET、SiC、GaN、Diode 等)のウェーハチップ単体を対象とした静特性測定装置(DC特性測定装置)です。 |
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